真空灭弧室主要由气密绝缘系统、导电系统、屏蔽系统、触头系统几部分组成。
1、绝缘外
材料：绝缘外壳的材料有玻璃、陶瓷、微晶玻璃三种。微晶玻璃价格昂贵，因而没有得到过实际应用；玻璃结构强度较差，使用量已逐渐减少；陶瓷综合性能最好，因而应用最广泛。
主要作用：绝缘外壳主要是起绝缘支撑作用，并参与组成气密绝缘系统。
2、波纹管
材料：波纹管主要由厚度为0.1～0.2mm的不锈钢制成。
主要作用：波纹管主要担负动电极在一定范围内运动、及高真空密封的功能。真空灭室要求波纹管具有很高的机械寿命。
3、屏蔽筒
材料：屏蔽筒可由无氧铜、不锈钢、电工纯铁或铜铬合金等材料制成。
主要作用：
1）减轻触头在燃弧过程中产生的金属蒸汽和液滴喷溅对绝缘外壳内壁的污染程度，从而避免造成真空灭弧室外壳的绝缘强度下降或产生闪络。
2）改善真空灭弧室内部的电场分布，有利于真空灭弧室绝缘外壳的小型化，尤其是对高电压等级真空灭弧室的小型化有显著效果。
3）冷凝电弧生成物。特别是真空灭弧室在开断短路电流时，电弧所产生的热能大部分被屏蔽系统所吸收，有利于提高触头间的介质恢复强度。屏蔽筒冷凝电弧生成物的量越大，吸收的能量也越大，越能改善真空灭弧室的开断能力。
